解决方案描述：

采用电子枪的形式。枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，电子束运动轨迹为270°，发射电流的稳定性优于±2%；使用精确到个位数的数显表显示束流，通常只能观察到±1mA的数字变动（比如调整到500mA，数字量一般在499~501之间）。

束流调整线性化，用手控盒时，束流旋钮一圈对应100mA束流，使用晶控控制时，POWER10%对应100mA束流，20%对应200mA束流，等等。 

高压从-4KV到-10KV连续可调，并带稳压功能，电压调整率非常小，即束流从小到大调节时，高压基本不会变化；快速灭弧电路可在1ms之内切断打火电弧，如果电弧能量超出了快速灭弧电路的工作范围，高压复位电路启动，高压和束流电路切断，待电弧消失后自动复位。 

X、Y扫描范围为±15mm，X、Y位移范围为±15mm；位移和扫描全部可以通过电脑设定；束流变化时，光斑位置不会变化；蒸发面平整，不会出现扎小坑现象（如SIO2，MGF2）。

扫描频率：横向500Hz，纵向50Hz； 高压电极为陶瓷焊接结构，真空室外接线部位有聚四氟乙烯套筒保护； 可以使用的真空度7X10-2Pa以下。

功率：10kW；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%。

解决方案的用途：

用于各种电子束镀膜机，特别适于镀制较高要求的光学薄膜。